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電子顕微鏡による3次元ナノ計測、AIで高速化に成功 – EE Times Japan

電子顕微鏡による3次元ナノ計測、AIで高速化に成功 – EE Times Japan


電子顕微鏡による3次元ナノ計測、AIで高速化に成功
EE Times Japan
東北大学多元物質科学研究所(IMRAM)陣内浩司教授と樋口剛志助教は2018年4月、防衛大学校萩田克美講師と共同で、集束イオンビーム-走査型電子顕微鏡(FIB-SEM)による3次元ナノ計測を、高い解像度で高速に行える技術を開発したと発表した。この技術は ... FIB-SEMは、半導体材料や電池材料、ソ ...

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